Abstract:
Рассмотрены микроскопические механизмы естественного старения и деградации приборов различного назначения. Показано, что процессы естественного старения контролируются низкотемпературными активационными электронными возбуждениями. Указаны экспериментальные и теоретические возможности адекватного моделирования процессов естественного старения.
Использовано 102 отечественных и зарубежных источника в основном за 1970-1982 гг.
Обзор предназначен для технологов и разработчиков, занимающихся надежностью полупроводниковых приборов и микросхем.
