DSpace Repository

Моделирование стабилизации поверхности (001) Si низкоэнергетическими ионами

Show simple item record

dc.contributor.author Ків, Арнольд Юхимович
dc.contributor.author Соловйов, Володимир Миколайович
dc.contributor.author Максимова, Татьяна Ивановна
dc.date.accessioned 2017-07-08T18:30:00Z
dc.date.available 2017-07-08T18:30:00Z
dc.date.issued 1999
dc.identifier.citation Кив А. Е. Моделирование стабилизации поверхности (001) Si низкоэнергетическими ионами / А. Е. Кив, В. Н. Соловьев, Т. И. Максимова // Комп’ютерне моделювання та інформаційні технології в освітній діяльності. – Кривий Ріг, 1999. – С. 7-11. uk
dc.identifier.uri http://elibrary.kdpu.edu.ua/handle/0564/1022
dc.identifier.uri https://doi.org/10.31812/0564/1022
dc.description 1. Бехштедт Ф., Эндерлайн Р. Поверхности и границы раздела полупроводников: Пер. с англ. – М.: Мир, 1990. – 488с. 2. Вавилов В.С., Кив А.Е., Ниязова О.Р. Механизмы образования и миграции дефектов в полупроводниках. – М.: Наука., Главная редакция физ.-мат. литературы, 1981. – 368с. 3. Хеерман Д.В. Методы компьютерного эксперимента в теоретической физике: Пер. с англ. / Под. ред. С.А.Ахманова. - М: Наука. Гл. ред. физ.- мат. лит., 1990. - 176 с. 4. F. Stillinger, T. Weber, New interatomic potential for Si, Phys. Rev. B 31, 5262 (1985). 5. I. Ohdomari, H. Akatsu, The structural models of the Si/Si02 interface, Non-Cryst. Sol. 89 239-248 (1987). 6. Максимова Т.И. Компьютерное моделирование радиационно-стимулированной стабилизации (001) Si поверхности.// Фотоэлектроника, № 8, 1998. 7. Ishimaru M., Munetoh S. Generation of amorphous silicon structure by rapid quenching: A molecular-dynamics study.// Phys.Rev., B 56 (23), 15133-15138 (1997). 8. K.Inoue, Y. Moricawa, Order-disorder phase transition on the Si (001) surface: Critical role of dimer defects, Phys.Rev., B 49 (20), 14774-14777 (1994).
dc.description.abstract Анализ особенностей формирования и влияния радиационных допороговых и послепороговых дефектов на основные физические процессы в полупроводниках привел нас к следующему предположению. Облучение поверхности кремния нейтральными ионами с энергиями, меньшими энергии дефектообразования Ed может способствовать переходу ее структуры в энергетически более стабильное состояние. Этот метод стабилизации поверхности может быть более предпочтительным, чем использование распространенной в настоящее время ионной бомбардировки с энергиями ионов порядка нескольких килоэлектронвольт, которая может приводить к значительным перестройкам приповерхностных слоев. uk
dc.language.iso ru uk
dc.publisher Видавничий відділ КДПУ uk
dc.subject компьютерное моделирование uk
dc.subject стабилизация поверхности uk
dc.subject кремний uk
dc.subject низкоэнергетические ионы uk
dc.subject метод молекулярной динамики uk
dc.subject потенциал Стиллинджера-Вебера uk
dc.subject потенциал Китинга uk
dc.subject алгоритм Верле uk
dc.title Моделирование стабилизации поверхности (001) Si низкоэнергетическими ионами uk
dc.type Article uk


Files in this item

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record

Search DSpace


Advanced Search

Browse

My Account

Statistics