dc.contributor.author |
Дядына, Г. А. |
|
dc.contributor.author |
Соловйов, Володимир Миколайович |
|
dc.contributor.author |
Хрисанов, В. А. |
|
dc.date.accessioned |
2017-08-25T19:35:38Z |
|
dc.date.available |
2017-08-25T19:35:38Z |
|
dc.date.issued |
1988 |
|
dc.identifier.citation |
Дядына Г. А. Процессы атомной диффузии в неупорядоченных системах / Г. А. Дядына, В. Н. Соловьев, В. А. Хрисанов // Обзоры по электронной технике. Серия 2. Полупроводниковые приборы. – 1988. – Вып. 8 (1409). – 48 с. |
uk |
dc.identifier.uri |
http://elibrary.kdpu.edu.ua/handle/0564/1274 |
|
dc.identifier.uri |
https://doi.org/10.31812/0564/1274 |
|
dc.description.abstract |
Рассмотрены теоретические и экспериментальные данные об атомной диффузии в неупорядоченных системах (аморфных и поликристаллических материалах, различных приборных структурах). Описано влияние всевозможных факторов на коэффициент диффузии. Установлена связь процессов ускоренной диффузии в неупорядоченных системах с процессами деградации и естественного старения приборов твердотельной микроэлектроники. Обзор представляет интерес для технологов, разработчиков полупроводниковых приборов и специалистов, работающих в области надежности этих приборов. |
uk |
dc.language.iso |
ru |
uk |
dc.publisher |
Центральный научно-исследовательский институт "Электроника" |
uk |
dc.subject |
неупорядоченные среды |
uk |
dc.subject |
атомная диффузия |
uk |
dc.subject |
электродиффузия |
uk |
dc.subject |
надежность |
uk |
dc.subject |
деградация |
uk |
dc.subject |
естественное старение |
uk |
dc.title |
Процессы атомной диффузии в неупорядоченных системах |
uk |
dc.type |
Book |
uk |