| dc.contributor.author | Дядына, Г. А. | |
| dc.contributor.author | Соловйов, Володимир Миколайович | |
| dc.contributor.author | Хрисанов, В. А. | |
| dc.date.accessioned | 2017-08-25T19:35:38Z | |
| dc.date.available | 2017-08-25T19:35:38Z | |
| dc.date.issued | 1988 | |
| dc.identifier.citation | Дядына Г. А. Процессы атомной диффузии в неупорядоченных системах / Г. А. Дядына, В. Н. Соловьев, В. А. Хрисанов // Обзоры по электронной технике. Серия 2. Полупроводниковые приборы. – 1988. – Вып. 8 (1409). – 48 с. | uk |
| dc.identifier.uri | http://elibrary.kdpu.edu.ua/handle/0564/1274 | |
| dc.identifier.uri | https://doi.org/10.31812/0564/1274 | |
| dc.description.abstract | Рассмотрены теоретические и экспериментальные данные об атомной диффузии в неупорядоченных системах (аморфных и поликристаллических материалах, различных приборных структурах). Описано влияние всевозможных факторов на коэффициент диффузии. Установлена связь процессов ускоренной диффузии в неупорядоченных системах с процессами деградации и естественного старения приборов твердотельной микроэлектроники. Обзор представляет интерес для технологов, разработчиков полупроводниковых приборов и специалистов, работающих в области надежности этих приборов. | uk |
| dc.language.iso | ru | uk |
| dc.publisher | Центральный научно-исследовательский институт "Электроника" | uk |
| dc.subject | неупорядоченные среды | uk |
| dc.subject | атомная диффузия | uk |
| dc.subject | электродиффузия | uk |
| dc.subject | надежность | uk |
| dc.subject | деградация | uk |
| dc.subject | естественное старение | uk |
| dc.title | Процессы атомной диффузии в неупорядоченных системах | uk |
| dc.type | Book | uk |