Abstract:
Рассмотрены теоретические и экспериментальные данные об атомной диффузии в неупорядоченных системах (аморфных и поликристаллических материалах, различных приборных структурах). Описано влияние всевозможных факторов на коэффициент диффузии. Установлена связь процессов ускоренной диффузии в неупорядоченных системах с процессами деградации и естественного старения приборов твердотельной микроэлектроники. Обзор представляет интерес для технологов, разработчиков полупроводниковых приборов и специалистов, работающих в области надежности этих приборов.
