DSpace Repository
Влияние микроструктуры поликристаллических пленок металлизации на процесс электродиффузии
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
| dc.contributor.author | Синкевич, В. Ф. | |
| dc.contributor.author | Соловйов, Володимир Миколайович | |
| dc.contributor.author | Дядына, Г. А. | |
| dc.date.accessioned | 2017-08-25T19:02:09Z | |
| dc.date.available | 2017-08-25T19:02:09Z | |
| dc.date.issued | 1984 | |
| dc.identifier.citation | Синкевич В. Ф. Влияние микроструктуры поликристаллических пленок металлизации на процесс электродиффузии / В. Ф. Синкевич, В. Н. Соловьев, Г. А. Дядына // Электронная техника. Серия 2. Полупроводниковые приборы. – 1984. – Вып. 3 (172). – С. 59-65. | uk |
| dc.identifier.uri | http://elibrary.kdpu.edu.ua/handle/0564/1271 | |
| dc.identifier.uri | https://doi.org/10.31812/0564/1271 | |
| dc.description.abstract | На основе теории протекания в неупорядоченных средах получены аналитические выражения, определяющие зависимость энергии активации электродиффузионных отказов от структуры тонкопленочной металлизации. Результаты теоретического анализа позволяют объяснить многие экспериментальные данные. | uk |
| dc.language.iso | ru | uk |
| dc.subject | моделирование | uk |
| dc.subject | теория протекания | uk |
| dc.subject | электродиффузионные отказы | uk |
| dc.subject | энергия активации | uk |
| dc.subject | тонкопленочная металлизация | uk |
| dc.title | Влияние микроструктуры поликристаллических пленок металлизации на процесс электродиффузии | uk |
| dc.type | Article | uk |
