Влияние микроструктуры поликристаллических пленок металлизации на процесс электродиффузии

Abstract

На основе теории протекания в не­упорядоченных средах получены аналитические выражения, опреде­ляющие зависимость энергии акти­вации электродиффузионных отка­зов от структуры тонкопленочной металлизации. Результаты теорети­ческого анализа позволяют объяс­нить многие экспериментальные данные.