dc.contributor.author |
Ків, Арнольд Юхимович |
|
dc.contributor.author |
Соловйов, Володимир Миколайович |
|
dc.contributor.author |
Максимова, Татьяна Ивановна |
|
dc.date.accessioned |
2017-07-08T18:30:00Z |
|
dc.date.available |
2017-07-08T18:30:00Z |
|
dc.date.issued |
1999 |
|
dc.identifier.citation |
Кив А. Е. Моделирование стабилизации поверхности (001) Si низкоэнергетическими ионами / А. Е. Кив, В. Н. Соловьев, Т. И. Максимова // Комп’ютерне моделювання та інформаційні технології в освітній діяльності. – Кривий Ріг, 1999. – С. 7-11. |
uk |
dc.identifier.uri |
http://elibrary.kdpu.edu.ua/handle/0564/1022 |
|
dc.identifier.uri |
https://doi.org/10.31812/0564/1022 |
|
dc.description |
1. Бехштедт Ф., Эндерлайн Р. Поверхности и границы раздела
полупроводников: Пер. с англ. – М.: Мир, 1990. – 488с.
2. Вавилов В.С., Кив А.Е., Ниязова О.Р. Механизмы образования и миграции дефектов в полупроводниках. – М.: Наука.,
Главная редакция физ.-мат. литературы, 1981. – 368с.
3. Хеерман Д.В. Методы компьютерного эксперимента в теоретической физике: Пер. с англ. / Под. ред. С.А.Ахманова. - М:
Наука. Гл. ред. физ.- мат. лит., 1990. - 176 с.
4. F. Stillinger, T. Weber, New interatomic potential for Si, Phys.
Rev. B 31, 5262 (1985).
5. I. Ohdomari, H. Akatsu, The structural models of the Si/Si02
interface, Non-Cryst. Sol. 89 239-248 (1987).
6. Максимова Т.И. Компьютерное моделирование радиационно-стимулированной стабилизации (001) Si поверхности.//
Фотоэлектроника, № 8, 1998.
7. Ishimaru M., Munetoh S. Generation of amorphous silicon
structure by rapid quenching: A molecular-dynamics study.//
Phys.Rev., B 56 (23), 15133-15138 (1997).
8. K.Inoue, Y. Moricawa, Order-disorder phase transition on the Si
(001) surface: Critical role of dimer defects, Phys.Rev., B 49
(20), 14774-14777 (1994). |
|
dc.description.abstract |
Анализ особенностей формирования и влияния радиационных допороговых и послепороговых дефектов на основные физические процессы в полупроводниках привел нас к следующему предположению. Облучение поверхности кремния нейтральными ионами с энергиями, меньшими энергии дефектообразования Ed может способствовать переходу ее структуры в энергетически более стабильное состояние. Этот метод стабилизации поверхности может быть более предпочтительным, чем использование распространенной в настоящее время ионной
бомбардировки с энергиями ионов порядка нескольких килоэлектронвольт, которая может приводить к значительным перестройкам приповерхностных слоев. |
uk |
dc.language.iso |
ru |
uk |
dc.publisher |
Видавничий відділ КДПУ |
uk |
dc.subject |
компьютерное моделирование |
uk |
dc.subject |
стабилизация поверхности |
uk |
dc.subject |
кремний |
uk |
dc.subject |
низкоэнергетические ионы |
uk |
dc.subject |
метод молекулярной динамики |
uk |
dc.subject |
потенциал Стиллинджера-Вебера |
uk |
dc.subject |
потенциал Китинга |
uk |
dc.subject |
алгоритм Верле |
uk |
dc.title |
Моделирование стабилизации поверхности (001) Si низкоэнергетическими ионами |
uk |
dc.type |
Article |
uk |