Динамика комплексов в кремнии

Abstract

Метод квантовохимического моделирования в приближении ПАКХО дает возможность проследить динамику атомов в различных дефектных конфигурациях алмазной решетки. Ранее была показана возможность облегченного образования вакансии в окрестности примеси V группы в кремнии и выхода в междоузлие узловых при­месей III группы. Был исследован так называемый эффект кузнечика в алмазной решетке. В данной работе установлено, что особенности релаксации дефектных конфигураций в алмазной решетке определяют кинетику взаимных превращений и трансформации комплексов. Так, генерация дефектов Френкеля комплексами V + атом V группы в области температур 600-900 К обусловливает медленное безрадиационное накопление А-центров. Такие процессы влияет на время жизни носителей в транзисторах и могут быть определяющим фактором их естественной деградации.