Квантовохимическое моделирование аморфного кремния

Abstract

Методом квантовохимического моделирования исследованы равновесные конфигурации и диффузионные процессы в аморфном кремнии. В основе расчета - микрокристаллическая модель аморфной среды. В результате расчета потенциального рельефа для миграции узельных и межузельных примесей сделан вывод о том, что в разупорядоченных средах имеются облегченные условии для перемещения атомов. Это, в частности, обусловлено широким набором междоузлий, характеризующихся различной релаксацией. Установлена неустойчивость узельных положений примесей замещения, что объясняет отсутствие их электрической активности. Объяснен эффект рекристаллизации амортизированных при ионной имплантации слоев. Он связан с неустойчивостью "глубоко" разупорядоченных структур (когда нарушения "достигают" каждого отдельного тетраэдра), которые безактивационно переходят в кристаллическую фазу. (1 ил., список лит. - 6 назв.).