Abstract:
Поверхні, границі розподілу напівпровідників відіграють суттєву роль в процесі формування й функціонування значної кількості приладів та структур сучасної мікроелектроники. Ідеальна поверхня є неврівноваженою структурою, і в залежності від умов її одержання, відпалу, пасівації може
трансформуватись в один з більш ніж 300 відомих станів. В сучасних теоретичних дослідженнях важливу роль відіграє комп’ютерне моделювання. Воно дозволяє дослідити атомну структуру, електронні, коливальні й оптичні властивості поверхні. В даній роботі методом молекулярної
дннамики з потенціалом Стілінджера-Вебера досліджено особливості релаксації (001) поверхні кремнія при кімнатній температурі за нормальних умов, а також при її опроміненні низькоенергетичними іонами. Поверхня (001) Si була обрана зогляду на те, що вона є найбільш якісною при одержанні її
методом молекулярно-променевої епітаксії і для неї ще не одержано в повній мірі переконливих експериментальних і теоретичних даних.
Description:
1. Зі С. Фізика напівпровідникових приладів: Пер. з англ. / Під ред. Д.А.Суриса. М.: Мир, 1984, Т. 1-2. 2. Srivastova G.P. Theory o f semiconductor surface reconstruction //Rep.Prog.Phys - 1997. - V. 60, №
5. - P. 561-613. 3. Bazant M.Z., Kaxiras E. Environment-dependent interatomic potential for bulk silicon.// Phys.Rev. - 1997. - V.B56, № 14. - P .8542-8552. 4. Neddermeyer H. Scanning tunnelling m microscopy of semiconductor surfaces.// Rep.Prog.Phys. - 1996. - V.59, № 6. - P.701-769 5. Abraham F.F., Batra I.P. A model potential study of the Si (001) 2x1 surfase. Surface Science. - 1985. - № 163. – P. L752-L758 6. Ishimaru M., Munetoh S. Generation of amorphous silicon structure by rapid quenching: A molecular-dynamics study // Phys.Rev. - 1997. - V.B56, № 23. – P.15133-15138.
7. Вавілов В. С., Ків А. Є., Ніязова О. Р. Механізми утворення і міграції дефектів в напівпровідниках. – М.: Наука, Головна редакція фіз.-мат. літератури, 1981. - 368 с.
8. Фізика гідрогенізованого аморфного кремнію. Вип. ІІ. Електроні і коливальні властивості / під ред. Дж. Джоунопулоса, Дж. Люковски. – М. : Мир, 1988. - 448 с.
